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集成电路制造的过程离不开各类不同纯度、不同压力、性质各异的气体参与。人们通过各种各样的派克减压阀来控制这些气体压力，如果说这些减压阀是气体控制零件中的皇冠的话，那么派克汉尼汾旗下的SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列超高纯减压阀就是这个皇冠上的明珠。
1、它针对超高纯应用而设计，先进的性能和规格使其非常适用于关键的半导体制造设备。
2、MFC是影响集成电路制造的可重复性及良率的重要组件，SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列减压阀能提供非常精准和可靠的压力控制，让MFC(质量流量计)的表现更加出色。
3、除此之外，它还在气密完整性和颗粒物生成方面表现出色，这些对于减少半导体制程的污染至关重要。
